用途概述

TBJ系列潔凈干燥箱，又稱無塵烘箱，適用于無塵車間的各種工件的熱處理以及電子產(chǎn)品的老化等作用，以保證工件的精度和潔凈度。如電子液晶顯示、LCD，CMOS，IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門，也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化錦、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤等。

產(chǎn)品特點

智能溫控

※TBJ系列潔凈干燥箱采用智能溫控系統(tǒng)，具有自動恒溫，升降溫、溫度定時等控制功能，控制精確可靠；

※具有鎖屏密碼，可選配三級權(quán)限和審計追蹤功能，可回放或?qū)С鰧嶒灁?shù)據(jù)及運行和操作者信息；

※彩色觸摸屏，PID自整定，支持參數(shù)設(shè)置、程序升溫、遠(yuǎn)程監(jiān)控、報警記錄查詢及USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出可選配RS-485接口，接入實驗室MES系統(tǒng)。

匠心工藝

※內(nèi)膽采用316不銹鋼，全周氬焊，外殼表面靜電鍍膜噴涂，經(jīng)典耐用，溫場均勻可靠；

※采用多層隔熱及螺旋風(fēng)道設(shè)計，內(nèi)置風(fēng)機(jī)形成正壓循環(huán)，實時排出顆粒物，避免停機(jī)后潔凈度衰減；

※內(nèi)置高效過濾器（H14），過濾效率達(dá)99.995%，實時監(jiān)測并維持百級潔凈度，避免傳統(tǒng)干燥箱“靜態(tài)潔凈"導(dǎo)致的二次污染。

安全可靠

※過溫斷電、壓力平衡設(shè)計，符合GMP、ISO14644及半導(dǎo)體行業(yè)SEMI標(biāo)準(zhǔn)；

※具有缺相檢測、自診斷、漏電、風(fēng)機(jī)過熱、短路、過載、缺相保護(hù)等安全裝置；

※具有斷偶及超溫自動停止加熱并報警，來電恢復(fù)、自診斷、突發(fā)情況參數(shù)自動保存等功能；

※設(shè)備運行過程中突然出現(xiàn)故障，儀表屏幕會有明顯標(biāo)識及代碼，便于快速排除故障解決問題。

應(yīng)用領(lǐng)域

※科研機(jī)構(gòu)：高校實驗室、材料研究所（如中科院、清華大學(xué)）；

※食品化工：高純度試劑、納米材料干燥（如新和成、萬華化學(xué)）；

※生物制藥：疫苗研發(fā)、無菌原料藥干燥（如藥明康德、恒瑞醫(yī)藥）；

※半導(dǎo)體/光電：晶圓切割片、光學(xué)鏡片低氧干燥（如中芯國際、京儀集團(tuán)）。

技術(shù)參數(shù)